无色透明易挥发易燃液体，有刺激臭味，在空气中暴露，易和潮气反应产生氯化氢，有严重毒性和腐蚀性。可用于生产各种有机硅化合物，是生产六甲基二硅氮烷和六甲基二硅氧烷的主要原料。