它在无水情况下稳定,但遇水即分解,生成六甲基二硅氧烷和盐酸。由氯甲烷与硅粉在氯化亚铜存在下反应并精馏提纯获得,也可由亲核性甲基试剂如甲基锂与四氯化硅发生亲核取代反应制得。
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三甲基氯硅烷